Der Druckchip der SGP01-Serie ist ein piezoresistiver druckempfindlicher Siliziumchip, der auf der SOI-Technologie basiert. Diese Chipserie nutzt das Prinzip der piezoresistiven Erkennung. Wenn sich die druckempfindliche Membran unter Druck verformt, stellt die Widerstandsänderung an der empfindlichen Membran die Größe des Eingangsdrucks dar. Bei Erregung durch eine konstante Spannungs-/Stromquelle steht die erzeugte Ausgangsspannung in linearem Zusammenhang mit dem Eingangsdruck. Die Chips der SGP01-Serie zeichnen sich durch hohe Stabilität, hohe Wiederholbarkeit und einen breiten Betriebstemperaturbereich aus und eignen sich für verschiedene Verpackungsformen. Sie können je nach Anwendungsumgebung Absolutdruck- (A) oder Relativdruck-Chips (G) liefern.

SChemische Diagramme

Bondpad-Konfiguration

NEIN	Elektrische Anschlüsse
1	Signalausgang -
2	Leistung +
3	Signalausgang +
4	Macht -
5	Macht -

Produktmerkmale

Anwendung

※ Hohe Empfindlichkeit

※ Hohe Wiederholgenauigkeit

※ Arbeitstemperaturbereich: -55 bis 180 Grad

※ Maximaler Überlastdruck: 2-3-facher Nenndruck

※ Meteorologische Messung

※ Atmosphärisches Datensystem

※ Ölbohrungen

※ Industrielle Messung und Steuerung

Leistungsangaben

Standardsortiment
Bereich Nr	Druckbereich	Typ	Markieren
15k0	0 ~ 15 kPa	G	2 psi
35k0	0 ~ 35 kPa	G	5 psi
100k	0 ~ 100 kPa	G/A	15 psi
200k	0 ~ 200 kPa	G/A	30 psi
350k	0 ~ 350 kPa	G/A	50 psi
700k	0 ~ 700 kPa	G/A	100 psi
01M0	0 ~ 1 MPa	G/A	150 psi
02M0	0 ~ 2 MPa	G/A	300 psi
03M5	0 ~ 3,5 MPa	G/A	500 psi
07M0	0 ~ 7 MPa	A	1000 psi
10M0	0 ~ 10 MPa	A	1500 psi
20M0	0 ~ 20 MPa	A	3000 psi
35M0	0 ~ 35 MPa	A	5000 psi
70M0	0 ~ 70 MPa	A	10000 psi
Überlastdruck	2 mal		Nenndruck

Leistungsparameter

Parameter	Min	Typisch	Max	Einheit	Markieren
Wiederholbarkeit	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
Linearität	0.05	0.1	0.15	±%FSO	1
Hysterese	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
Nulltemperatur-Hysterese	0.01	0.05	0.15	±%FSO	2 3
Hysterese der Empfindlichkeitstemperatur	0.01	0.05	0.15	±%FSO	2 3
Voller Bereich	45	75	175	mV	2 3
Nulltemperaturkoeffizient TCO	-600	260	600	ppm/Grad	2
Empfindlichkeit Temperaturkoeffizient	-2500	-1900	-1400	ppm/Grad
Temperaturkoeffizient des Brückenwiderstands	1000	1200	1400	ppm/Grad	2

Charakteristischer Parameter

Erregung	Einheit
2~10	V
0.2~2	mA

Brückenwiderstand	3kΩ - 6.5kΩ
Arbeitstemperatur	-55 Grad ~ 180 Grad
Lagertemperatur	-55 Grad ~ 180 Grad
Brückenform	Halboffene Brücke
Geeignetes Medium	Sauber, trocken und frei von korrosiven Gasen

Dimension

Druckbereich	Gesamtdimension
15 kPa ~ 7 MPa	3.8×3.8×2.4
10 MPa ~ 70 MPa	2.5×2.5×2.4

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Drucksensorchip der SGP 21-Serie

Leistungsangaben

Leistungsparameter

Charakteristischer Parameter

Dimension