Bei den Druckchips der Serie SG-H22 handelt es sich um piezoresistive druckempfindliche Chips aus Silizium, die auf der SOI-Technologie basieren und hohen Temperaturen von bis zu 300 Grad standhalten. Diese Chipserie nutzt das piezoresistive Erkennungsprinzip. Wenn sich die druckempfindliche Membran unter Druck verformt, charakterisiert die Widerstandsänderung an der empfindlichen Membran die Größe des Eingangsdrucks. Bei Erregung durch eine Konstantspannungs-/Konstantstromquelle steht die erzeugte Ausgangsspannung in einem linearen Verhältnis zum Eingangsdruck.

Die Chips der SG-H22-Serie zeichnen sich durch hohe Stabilität, hohe Wiederholgenauigkeit und einen großen Betriebstemperaturbereich aus. Sie eignen sich für verschiedene Verpackungsformen und können je nach Anwendungsumgebung Absolutdruck- (A) oder Überdruck- (G) Chips liefern und sind für die digitale Kompensation und die Widerstandsnetzwerkkompensation anwendbar.

Merkmale

Anwendung

Hohe Wiederholgenauigkeit
Hohe Zuverlässigkeit
Großer Temperaturbereich: -55 Grad ~ 300 Grad

Meteorologische Messung
Atmosphärisches Datensystem
Ölbohrung
Industrielle Messung und Steuerung

product-916-318

Leistungsangaben

Standardsortiment
10M0	0 ~ 10 MPa	G/A	1500 psi
20M0	0 ~ 20 MPa	G/A	3000 psi
28M0	0 ~ 28 MPa	G/A	4000 psi
45M0	0 ~ 45 MPa	G/A	6500 psi
70M0	0 ~ 70 MPa	G/A	10000 psi
Überlastdruck	2 mal		Nenndruck

Leistungsparameter

Parameter	Min	Typisch	Max	Einheit	Markieren
Wiederholbarkeit	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
Linearität	0.01	0.15	0.2	±%FSO	1
Hysterese	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
Nulltemperatur-Hysterese	0.01	0.1	0.2	±%FSO	2 3
Hysterese der Empfindlichkeitstemperatur	0.01	0.1	0.2	±%FSO	2 3
Voller Bereich	80	100	120	mV	2 3
Nulltemperaturkoeffizient TCO	-500	-100	500	ppm/Grad	2
Empfindlichkeitstemperaturkoeffizient TCS	-1200	-950	-800	ppm/Grad
Temperaturkoeffizient des Brückenwiderstands TCR	1400	1600	1800	ppm/Grad	2

Charakteristischer Parameter

Erregung	Einheit
2~10	V
0.2~2	mA

Brückenwiderstand	2kΩ - 5kΩ
Arbeitstemperatur	-55 Grad ~ 300 Grad
Gewicht	0.03~0.05g
Brückenform	Halboffene Brücke
Geeignetes Medium	Sauber, trocken und frei von korrosiven Gasen

Dimension

Druckbereich	Gesamtdimension
10 MPa ~ 70 MPa	2.5×2.5×2.4

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