Hochpräziser Silizium-Resonanzdrucksensor

Resonanzdrucksensoren aus Siliziumstellen die derzeit höchstpräzisen Drucksensoren dar und zeichnen sich durch Vorteile wie hohe Präzision, ausgezeichnete Stabilität und quasi-digitalen Ausgang aus, - wodurch sie in Luftfahrt-Atmosphärendatenmesssystemen, Druckreglern und meteorologischen Messgeräten weit verbreitet einsetzbar sind. Der hochpräzise Silizium-Resonanzdrucksensor der SG-P2-Serie nutzt die fortschrittliche Silizium-Resonanz-MEMS-Technologie und integriert einen mikro-mechanischen Resonanzbalken aus ein-kristallinem Silizium mit einer druckempfindlichen Membran, während gleichzeitig ein vereinfachtes Druck- und elektrisches Schnittstellendesign übernommen wird; Unter der Voraussetzung, die Leistung sicherzustellen, wird seine Größe minimiert, um die Demontage und Installation des Produkts zu erleichtern.

Die Kernresonanzstruktur der SG-P2-Serie verwendet ein Stimmgabelbalkendesign, das im -ebenen Vibrationsmodus arbeitet. Die Wechselwirkung zwischen elektrischen Signalen und mechanischen Schwingungen wird durch elektrostatische Anregung und kapazitive Schwingungsaufnahme erreicht, wobei ein Regelkreis mit geschlossenem Regelkreis Frequenzsignale in Ausgangssignale umwandelt. Insbesondere verändert die durch Druck-induzierte Spannung die Steifigkeit des Resonanzbalkens, was zu einer messbaren Verschiebung seiner natürlichen Resonanzfrequenz führt; Diese Verschiebung wird über einen vakuumverpackten Hohlraum und eine hochstabile Frequenzerkennungsschaltung erfasst, die sie in präzise Druckmesswerte umwandelt. Im Vergleich zu herkömmlichen piezoresistiven oder kapazitiven Sensoren bietet dieses frequenzbasierte Funktionsprinzip von Natur aus einen digitalen Frequenzausgang, eine extrem hohe Störfestigkeit und Langzeitstabilität.

Durch präzise Mikrofertigungsprozesse - einschließlich Deep Reactive Ion Etching, hoch-präzisem Silizium-Siliziumbonden und Vakuumverpackung - gewährleistet die SG-P2-Serie strukturelle Konsistenz und minimale Herstellungsfehler (±0,1 µm) und liefert hervorragende Frequenzgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus reduziert die differenzielle Doppelresonatorstruktur in Kombination mit der Temperaturkompensation effektiv die temperaturbedingte Frequenzdrift und sorgt so für eine hohe Präzision über einen weiten Temperaturbereich.

Da der Ausgang frequenzbasiert (digital) und nicht analog Spannung/Strom ist, ist das Signal von Natur aus immun gegen elektromagnetische Interferenzen (EMI), Leistungsschwankungen und analoges Rauschen, was die SG-P2-Serie ideal für industrielle Steuerungssysteme (SPS/DCS/SCADA), Fernüberwachung/Datenerfassung (DAQ) und automatisierte Prozesssteuerung macht. Sein modulares Verpackungsdesign ermöglicht es Kunden außerdem, Druckbereiche, Prozessanschlüsse und Ausgangsschnittstellen für eine nahtlose Systemintegration individuell anzupassen.

• Digitaler Frequenzausgang - Immun gegen elektromagnetische Störungen, Leistungsschwankungen und Rauschen; erleichtert die digitale Signalverarbeitung und Fernüberwachung.
• Hohe Präzision und Stabilität - Einkristall-Siliziumresonator + Mikro-bearbeitung + Vakuumverpackung + Temperatur. Die umfassende Genauigkeit der gesamten Temperatur und des gesamten Bereichs kann ±0,01 % FS erreichen. Die Kompensation gewährleistet hohe Genauigkeit und langfristige Zuverlässigkeit.
• Großer Druckbereich und Hochdruckfähigkeit - Unterstützt Nieder- bis Hochdruckanwendungen-, geeignet für komplexe Industrieumgebungen.
• Temperaturkompensation/Stabilität - Das differenzielle Dual--Resonatordesign reduziert die temperaturbedingte Frequenzdrift.
• Modular und anpassbar - Unterstützt die Anpassung von Druckbereich, Prozessanschlüssen, Ausgangsschnittstellen und Materialien.
• Langfristige Zuverlässigkeit und geringer Wartungsaufwand - Vakuumverpackung und stabile Resonatorstruktur reduzieren die Kalibrierungshäufigkeit und Wartungskosten.
• Einfache Systemintegration - Digitaler Ausgang, kompatibel mit SPS/DCS/DAQ/SCADA/IoT-Systemen, ideal für Automatisierung, Fernüberwachung und Datenerfassung.

Sensoren der SG-P2-Serie eignen sich ideal für Branchen und Szenarien, die hohe Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit erfordern:

• Öl und Gas - Hochdruckpipelines, Kompressionsstationen, Injektionssysteme, Bohrlochdrucküberwachung.
• Petrochemische/chemische -Hoch-Druckreaktoren, chemische Prozessüberwachung, hochpräzise-Druckkontrollsysteme.
• Industrielle Automatisierung und Prozesssteuerung - Gas-/Flüssigkeitsdrucküberwachung, industrielle Prozessautomatisierung, SPS/DCS-Integration.
• Luft- und Raumfahrt / Triebwerkstests - Überwachung von Gas-/Luftdrucksystemen, Brennkammern und pneumatischen Systemen.
• Meerwasser-/Tiefsee--Hoch-Druckmessung von Meerwasser/Ölquellen mit geeigneter Verpackung und korrosionsbeständigem Design.
• Energie/Strom - Kessel, Dampfsysteme, Druckluft, Hochdruck-Gassysteme.
• Instrumentierung/Forschung - Wissenschaftliche Instrumente und Testgeräte, die hohe Präzision, Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität erfordern.

(Anpassbare Verpackung/Prozessverbindung zur Anpassung an mehr Industrie-/Forschungsszenarien.)

Warum sollten Sie sich für unseren hochpräzisen Silizium-Resonanzdrucksensor entscheiden?

Strenge Qualitätskontrolle und Präzisionsfertigung - Die fortschrittliche MEMS-Herstellung (DRIE + ein-kristallines Silizium + Vakuumverpackung + temperaturkompensierte Struktur) gewährleistet Konsistenz und hohe Zuverlässigkeit.

Starke Anpassungsfähigkeit - Passen Sie Druckbereich, Prozessverbindung, Ausgangsschnittstelle und Verpackung/Materialien an, um die Integrationsanforderungen mit SPS/DCS/SCADA/DAQ-Systemen zu erfüllen.

Schnelle Lieferung/Batch-Lieferung - Ausgereifte Prozesse und Lieferketten unterstützen mittlere bis große Aufträge-mit industriellen Projektzeitplänen.

Langfristige Stabilität reduziert Wartungskosten - Resonanzfrequenzausgang + Vakuumverpackung + Temperaturkompensationsstruktur sorgt für minimale Drift und hohe Wiederholgenauigkeit.

Technischer Support und Systemintegrationsservice - One-Stop-Service von der Produktauswahl, Anpassung, Installation und Kalibrierung bis hin zum After-Sales-Support. Die Unterstützung bei der Systemintegration und -verifizierung gewährleistet einen zuverlässigen, sicheren und benutzerfreundlichen Betrieb.

Häufig gestellte Fragen

F1: Warum sollte man sich für einen Frequenzausgang anstelle eines herkömmlichen Analogausgangs (4-20 mA / 0-5 V) entscheiden?

A1: Der Frequenzausgang ist von Natur aus digital und immun gegen elektromagnetische Störungen, Leistungsschwankungen und Signalleitungsrauschen. Außerdem lässt es sich einfacher digital verarbeiten und aus der Ferne übertragen und bietet eine höhere Stabilität und Zuverlässigkeit als die analoge Ausgabe.

F2: Wie wirkt sich die Temperatur auf die Messgenauigkeit aus und wie wird die thermische Drift kompensiert?

A2: Das differenzielle Dual--Resonator-Design stellt sicher, dass beide Resonatoren gleichermaßen auf die Temperatur, aber entgegengesetzt auf den Druck reagieren. Der Differenzfrequenzausgang kompensiert effektiv die thermische Drift und sorgt so für eine hohe Genauigkeit über weite Temperaturbereiche.

F3: Kann die SG-P2-Serie mit hohem Druck umgehen?

A3: Ja. Das Design aus Resonatorbalken, Mikrohohlraum und verstärkter Struktur ermöglicht Hochdruckanwendungen (bis zu ~100 MPa in ähnlichen Strukturen) bei gleichzeitig hoher Genauigkeit und Stabilität. Verpackungen und Materialien können für Hochdrucksysteme angepasst werden.

F4: Ist die Ausgangsschnittstelle flexibel für die Integration mit SPS/DCS/SCADA?

A4: Ja. Das modulare Design unterstützt anpassbare Ausgänge (digitale Frequenz, industrielle Standardsignale, spezielle Protokolle) und kann für die Signalkompatibilität mit vorhandenen Steuerungssystemen angepasst werden.

F5: Wie hoch ist die Lieferzeit und die Chargenlieferfähigkeit?

A5: Unser ausgereifter Produktionsprozess unterstützt mittlere bis große Aufträge-. Standardprodukte haben kurze Lieferzeiten; Für kundenspezifische Anforderungen stellen wir einen klaren Produktions- und Lieferplan zur Verfügung, der Qualität und Zuverlässigkeit gewährleistet.

Wenn Sie sich für den hochpräzisen Silizium-Resonanzdrucksensor der SG-P2-Serie interessieren, egal ob standardmäßig oder maßgeschneidert für Ihren Prozess (Druckbereich/Schnittstelle/Verpackung/Umgebung), kontaktieren Sie uns bitte für ein Datenblatt, ein Kalibrierungszertifikat, Mustertests oder ein Massenangebot. Wir bieten professionellen technischen Support, zuverlässige Lieferung und einen hervorragenden After-Sales-Service.

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